氧化铟锡粉体及靶材研制成功

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氧化铟锡粉体及靶材研制成功

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2003-12-04

宁夏西北稀有金属材料研究院最近研制成功氧化铟锡粉体及氧化铟锡靶材，并投入批量生产。

　　氧化铟锡靶材是纳米级氧化铟锡粉的烧结陶瓷体，由于氧化铟锡粉的粒度是纳米级的，经过预处理和成型工艺后，可制成密度高、化学纯度高、质地均匀的氧化铟锡靶材。该材料是磁控溅射制备氧化铟锡导电薄膜的原料，这种透明导电薄膜可见光透过率大于85％，红外光反射率达90％，导电性能好，有优良的化学稳定性和热稳定性、电极图形加工性，是一种用途十分广泛的特种薄膜材料，主要用于液晶显示（LCD）器件的电极材料。

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